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ルネサス、火災で被害の半導体製造装置 当初の11台から増加

 3月29日、ルネサスエレクトロニクスは那珂工場(茨城県ひたちなか市)の火災で被害を受けた半導体製造装置が、当初公表した11台から増加していることを明らかにした。2017年4月撮影(2021年 ロイター/Toru Hanai)

[東京 29日 ロイター] - ルネサスエレクトロニクスは29日、那珂工場(茨城県ひたちなか市)の火災で被害を受けた半導体製造装置が、当初公表した11台から増加していることを明らかにした。広報担当者がロイターに述べた。

11台は火災で燃えたことから、使用ができなくなった。その後、すすなどの影響がどの程度広がっているのか精査している。広報担当者は「影響を受けた台数が11台より増えていることは間違いないが、現時点で詳細は開示しない」とした。30日までに被害状況をまとめる。

日本経済新聞電子版は29日午前、すすなどの影響が当初の想定より大きく、使用不能になった製造装置が11台から17台前後に増えたもようと伝えた。

自動車用半導体を主に手掛ける那珂工場では、19日未明に火災が発生。ルネサスは21日に開いた会見で、先端品を扱う300ミリラインの装置11台が焼損したと明らかにしていた。

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